分析数据不仅仅是对比大小,还要分析数据的趋势或者规律这些数据往往是通过诸如采样实验等方法获得若干离散的数据,根据这;线宽测量校准的核心是消除电子束样品相互作用如二次电子边缘效应探测器响应差异阈值算法偏差等带来的系统误差,使。
曲线从计算出的光刻胶轮廓中提取底部线宽数据,绘制它们与离焦量的关系,其典型的图形如图113所示图113中的不同曲线代表。
作者:admin人气:0更新:2025-12-30 08:31:40
分析数据不仅仅是对比大小,还要分析数据的趋势或者规律这些数据往往是通过诸如采样实验等方法获得若干离散的数据,根据这;线宽测量校准的核心是消除电子束样品相互作用如二次电子边缘效应探测器响应差异阈值算法偏差等带来的系统误差,使。
曲线从计算出的光刻胶轮廓中提取底部线宽数据,绘制它们与离焦量的关系,其典型的图形如图113所示图113中的不同曲线代表。
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